電子壓力測量背后的原理
電子壓力測量背后的工作原理
在電子壓力傳感器中,柔性隔膜將過程與實(shí)際傳感器元件分開。壓力推動該隔膜,該隔膜設(shè)計(jì)成在整個壓力范圍內(nèi)以一致的方式偏轉(zhuǎn)。然后,傳感器通過將隔膜的應(yīng)變或壓縮轉(zhuǎn)換為有意義的電子信號來測量壓力。這是阻力測量的原理。
三種電子壓力傳感器
選擇合適的電子傳感器對于獲得準(zhǔn)確可靠的測量至關(guān)重要。三種最常見的傳感器元件類型是金屬薄膜,陶瓷薄膜和壓電電阻。前兩種傳感器基于電阻壓力測量原理。第三種類型依賴于半導(dǎo)體材料的電阻率的變化。下表比較了這三種類型的一些功能。
用于高壓應(yīng)用的金屬薄膜傳感器
在研究這三種電子傳感器的特性和功能時,很明顯只有金屬薄膜傳感器才適用于低密度聚乙烯(LDPE)和其他高壓,高振動應(yīng)用。
金屬薄膜傳感器的橫截面
在金屬薄膜傳感器中,惠斯通電橋電阻器布置結(jié)合到電路層。然后將這兩層夾在絕緣層之間。壓力傳感器采用化學(xué)/物理工藝和光刻蝕刻技術(shù)在特殊潔凈室和真空或惰性氣氛下制造,而不是采用將傳感器粘合或焊接到隔膜上的常用方法。這導(dǎo)致與傳感器主體的良好結(jié)合,可承受極端溫度和振動。
使用有限元法(FEM)模擬設(shè)計(jì)其金屬薄膜傳感器,以避免1)局部過載和相應(yīng)的塑性變形,以及2)膜片偏轉(zhuǎn)超出材料屈服點(diǎn)。為了確保它們不會在高壓操作下失效,我們公司將其傳感器通過一系列嚴(yán)格的測試,包括10 8次 負(fù)載循環(huán)疲勞測試。