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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì):測(cè)量高純度氣體的流量上海自動(dòng)化儀表在電子工業(yè)、生物醫(yī)藥、化學(xué)工業(yè)等領(lǐng)域中,純凈度要求高、控制精度高的氣體流量測(cè)量需求十分常見。而熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)作為一種高精準(zhǔn)、高可靠和無(wú)腐蝕的氣體流量測(cè)量?jī)x器,廣泛應(yīng)用于高純度氣體流量測(cè)量領(lǐng)域。本文將介紹熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)在高純度氣體流量測(cè)量中的應(yīng)用。 所謂熱式氣體質(zhì)量流量計(jì),是指一種基于熱敏傳感技術(shù)的氣體質(zhì)量流量計(jì)。其中包括了差壓式、熱式以及超聲波式等傳感器類型,通過(guò)將氣體流過(guò)一個(gè)加熱器和兩個(gè)熱敏電阻器的裝置,來(lái)完成對(duì)氣體質(zhì)量流量的測(cè)量。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)被廣泛應(yīng)用與氣體質(zhì)量流量的精確測(cè)量和控制上,使得高純度氣體的流量測(cè)量更加穩(wěn)定和精準(zhǔn)。 例如,在生物醫(yī)藥領(lǐng)域中,高精準(zhǔn)的氣體流量測(cè)量是生產(chǎn)過(guò)程控制的重要指標(biāo)之一。如在制藥過(guò)程中,熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)用于監(jiān)測(cè)、控制基因、細(xì)胞培養(yǎng)、發(fā)酵等過(guò)程中的氧氣流量、CO2流量、氮?dú)饬髁康葰怏w流量。這些氣體的濃度及流量對(duì)于產(chǎn)品的質(zhì)量起著決定性作用。 除生物醫(yī)藥領(lǐng)域之外,在電子工業(yè)中,高純氣體的流量控制也是一個(gè)至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。例如,在半導(dǎo)體制造工藝中,熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)被廣泛應(yīng)用到高純度的腐蝕性器具的氣體流量測(cè)量,并在制造過(guò)程中起到了至關(guān)重要的作用。 總而言之,熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)在高純度氣體流量測(cè)量中的應(yīng)用,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體流量的高精準(zhǔn)、高可靠、無(wú)腐蝕的精確測(cè)量和控制,保證了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定可靠。上海自動(dòng)化儀表隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,相信熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)在高純度氣體流量測(cè)量領(lǐng)域中的應(yīng)用將會(huì)越來(lái)越廣泛。 |